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本技术公开了适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，包括喷气管道和吸尘管道，所述喷气管道贴合连接于吸尘管道上侧，所述吸尘管道和喷气管道一端均设有连接螺纹，另一端分别设有主吸尘口和喷气口，所述主吸尘口上活动连接有吸尘口挡板；所述喷气管道上靠近连接...
该专利属于江苏中科汉韵半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中科汉韵半导体有限公司授权不得商用。

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