【技术实现步骤摘要】
本技术属于刻蚀机腔体清洁，具体涉及适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头。
技术介绍
1、现在的工业设备精度越来越高，其要求的清洁保养流程和要求也越来越精细。例如半导体行业的刻蚀机腔体，在pm保养时对粉尘颗粒数量的要求极高。现在的刻蚀机腔体pm保养主要还是人力擦洗，其清洁工具功能单一需要不断切换工具，并且清洁力不理想，常常需要多次清洁才能达到规定清洁状态，这样就造成了开腔时间久，继而影响后续的复机时间。
2、虽然现在市场上也有刻蚀清洁产品，但大部分的清洁产品适用于日常刻蚀程序结束后的非开腔清洁，只能延长腔体开腔pm保养时间，在最后还是需要开腔pm保养，并且此类清洁工具大多结构复杂价格高昂。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，能够有效降低产品成本，改善清洁产品功能，提高清洁作用效果。
2、为实现上述目的，本技术适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，包括喷气管道和吸尘管道，所述喷气管道贴合连接于吸尘管道的上侧，所述吸尘管道和喷气管道...
【技术保护点】
1.适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，包括喷气管道(3)和吸尘管道(1)，其特征在于，所述喷气管道(3)贴合连接于吸尘管道(1)上侧，所述吸尘管道(1)和喷气管道(3)一端均设有连接螺纹(2)，另一端分别设有主吸尘口(8)和喷气口(5)，所述主吸尘口(8)上活动连接有吸尘口挡板(6)；
2.根据权利要求1所述的适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，其特征在于，所述喷气管道(3)和吸尘管道(1)一体注塑成型。
3.根据权利要求1或2所述的适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，其特征在于，所述吸尘管道(1)包括连接管(1.1)、过渡管(1.2)和功能...
【技术特征摘要】
1.适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，包括喷气管道(3)和吸尘管道(1)，其特征在于，所述喷气管道(3)贴合连接于吸尘管道(1)上侧，所述吸尘管道(1)和喷气管道(3)一端均设有连接螺纹(2)，另一端分别设有主吸尘口(8)和喷气口(5)，所述主吸尘口(8)上活动连接有吸尘口挡板(6)；
2.根据权利要求1所述的适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，其特征在于，所述喷气管道(3)和吸尘管道(1)一体注塑成型。
3.根据权利要求1或2所述的适用于刻蚀机腔体的吹吸一体式清洁头，其特征在于，所述吸尘管道(1)包括连接管(1.1)、过渡管(1.2)和功能管(1.3)，所述连接管(1.1)与功能管(1.3)之间通过过渡管(1.2)连接，连接管(1.1)、过渡管(1.2)和功能管(1.3)注塑一体成型，所述主吸尘口(8)和副吸尘口(7)均设于功能管(1.3)上。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，胡博文，黄云辉，孔静，
申请(专利权)人：江苏中科汉韵半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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