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本技术提供了一种碳化硅晶片腐蚀篮具，涉及晶片腐蚀技术领域，该碳化硅晶片腐蚀篮具包括篮具支架和多个篮具隔板，多个篮具隔板层叠设置在篮具支架的底部，相邻两个篮具隔板之间形成用于装配晶片的夹持空间，每个篮具隔板的顶侧表面设置有多个第一抵持凸点，多...
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