下载一种单晶硅棒外圆加工设备的技术资料

文档序号:42640836

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本发明公开了一种单晶硅棒外圆加工设备,涉及硅棒加工技术领域;而本发明包括距离调节机构,距离调节机构的两个移动端均固定安装有第一调节机构,第一调节机构内部设有对硅棒进行夹持的硅棒夹持机构,距离调节机构上安装有呈环形分布的四个第二调节机构,四个...
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