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本技术公开了防着板以及磁控溅射设备。防着板形成有开口部，防着板以使基片的中部区域从开口部被露出的方式压住基片的四周的边缘。防着板具有：第一平坦部，围绕开口部；多个第一倾斜部，与分别与开口部的各边相对，以从防着板的边缘朝向开口部的方向厚度逐渐...
该专利属于深圳市矩阵多元科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市矩阵多元科技有限公司授权不得商用。

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