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一种用于三维堆叠封装结构的毛细管底部填充方法技术
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文档序号:42635951
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本发明公开了一种用于三维堆叠封装结构的毛细管底部填充方法,包括对多个倒装芯片进行堆叠键合得到三维堆叠封装结构,在围堰装置内涂抹脱模剂,将三维堆叠封装结构放置在围堰装置内,使用耐高温双面胶带或耐高温双面胶水将三维堆叠封装结构与围堰装置进行固定...
该专利属于西安微电子技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安微电子技术研究所授权不得商用。
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