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本发明属于半导体加工技术领域，具体是具有晶圆上料动态调节功能的清洗花篮结构，包括花篮，花篮的内部设置有对晶圆限位的限位件，花篮的下方设置对晶圆位置调节的调节机构，调节机构包括开设在花篮两侧的滑槽，滑槽内滑动设置有滑块；本发明是通过对若干个晶...
该专利属于兴宇宏半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过兴宇宏半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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