下载一种半导体生产用硅晶片平洗装置的技术资料

文档序号:42634136

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本发明公开了一种半导体生产用硅晶片平洗装置,涉及半导体生产技术领域。该半导体生产用硅晶片平洗装置,包括超声波清洗箱,所述超声波清洗箱的顶部固定连接有烘干机构。该半导体生产用硅晶片平洗装置,通过烘干机构的设置,当载物盒倾斜后,硅晶片从载物盒中...
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