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一种半导体生产用硅晶片平洗装置制造方法及图纸
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下载一种半导体生产用硅晶片平洗装置的技术资料
文档序号:42634136
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本发明公开了一种半导体生产用硅晶片平洗装置,涉及半导体生产技术领域。该半导体生产用硅晶片平洗装置,包括超声波清洗箱,所述超声波清洗箱的顶部固定连接有烘干机构。该半导体生产用硅晶片平洗装置,通过烘干机构的设置,当载物盒倾斜后,硅晶片从载物盒中...
该专利属于苏州鸿望电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州鸿望电子科技有限公司授权不得商用。
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