温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种光学装置、投影光学系统、曝光装置和物品制造方法。光学装置具备：第1凹面反射镜，具有第1反射面；第2凹面反射镜，与前述第1凹面反射镜分离地配置，所述第2凹面反射镜具有第2反射面；以及整流部，将沿着前述第2凹面反射镜的前述第2反射...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。