下载SiC成型体及SiC成型体的制造方法的技术资料

文档序号:42633231

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开的目的在于提供低电阻的SiC成型体和上述SiC成型体的制造方法。本公开提供一种SiC成型体,其体积电阻率为7.0×10‑3Ω·cm以下,氮浓度在超过1000ppm且小于等于4500ppm的范围内。...
该专利属于东海炭素株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东海炭素株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。