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本申请公开了一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构及粒子束控制装置。该磁物镜结构包括：物镜磁体；物镜内极靴，其装配面上设有多个沿圆周均匀分布的第一固定孔，通过第一固定部件与第一固定孔的相互配合固定在物镜磁体上，第一固定部件为可拆卸式固定部件，圆...
该专利属于北京惠然肯来科技中心（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过北京惠然肯来科技中心（有限合伙）授权不得商用。

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