用于粒子束控制装置的磁物镜结构及粒子束控制装置制造方法及图纸

本申请公开了一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构及粒子束控制装置。该磁物镜结构包括：物镜磁体；物镜内极靴，其装配面上设有多个沿圆周均匀分布的第一固定孔，通过第一固定部件与第一固定孔的相互配合固定在物镜磁体上，第一固定部件为可拆卸式固定部件，圆周的圆心与物镜内极靴的轴线重合；以及物镜外极靴，其装配面上设有多个沿同一圆周均匀分布的第二固定孔，通过第二固定部件与第二固定孔的相互配合固定在物镜磁体上并与物镜内极靴同轴，第二固定部件为可拆卸式固定部件。通过本申请实施例的方案，能够将物镜内极靴和物镜外极靴独立安装在物镜磁体上。在对中过程中，紧固操作所导致的回弹力和摩擦力不会经由物镜磁体作用到物镜内/外极靴，从而消除了橡胶圈对物镜内/外极靴的对中过程和装配过程的影响，有效地提高了对中精度和效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请一般涉及检测设备。更具体地，本申请涉及一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构及粒子束控制装置。

技术介绍

1、随着半导体器件的不断微缩，半导体器件的检测精度和加工精度等产生了更高的需求，基于电子束、离子束等粒子束的检测和加工技术也随之快速发展，并在微电子学领域中得到广泛应用，如扫描电子显微镜（sem，scanning electron microscope）和聚焦离子束装置（fib，focused ion beam）等。

2、若要满足需求的检测精度和加工精度，需要对粒子束进行精确地控制，以实现电子束和离子束细微地聚焦。在现有的粒子束控制装置中，粒子束聚焦常使用由励磁线圈和软磁材料组成的磁物镜进行操控。粒子束的操控要在高真空环境下进行，且对周围环境的洁净度要求极高，尤其是在终极聚焦位置处。然而，励磁线圈通常由手工绕制并在每层线圈中涂敷导热胶制作而成，导线线圈之间积存大量空气，从而对粒子束操纵环境的真空度和洁净度带来极大影响。基于工艺成本与洁净度的考虑，现有的粒子束控制装置通常将励磁线圈部分作为一个独立的区域并使用橡胶圈将其密封，使其与粒子束操纵本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的磁物镜结构，其特征在于，还包括：励磁线圈（15），所述物镜磁体（11）包括：第一物镜磁体部件（111）和第二物镜磁体部件（112）；

3.根据权利要求2所述的磁物镜结构，其特征在于，还包括：密封圈（14）；

4.根据权利要求2所述的磁物镜结构，其特征在于，还包括：第一绝缘件（16）；

5.一种粒子束控制装置，其特征在于，所述粒子束控制装置包括：物镜单元（1），所述物镜单元（1）包括一个或多个如权利要求1-4任一项所述的磁物镜结构（10）。

6.根...

【技术特征摘要】

1.一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的磁物镜结构，其特征在于，还包括：励磁线圈（15），所述物镜磁体（11）包括：第一物镜磁体部件（111）和第二物镜磁体部件（112）；

3.根据权利要求2所述的磁物镜结构，其特征在于，还包括：密封圈（14）；

4.根据权利要求2所述的磁物镜结构，其特征在于，还包括：第一绝缘件（16）；

5.一种粒子束控制装置，其特征在于，所述粒子束控制装置包括：物镜单元（1），所述物镜单元（1）包括一个或多个如权利要求1-4任一项所述的磁物镜结构（10）。

6.根据权利要求5所述的粒子束控制装置，其特征在于，还包括：水冷单元（2），所述水冷单元（2）用于对所述物镜单元（1）进行散热。

7.根据权利要求6所述的粒子束控制装置，其特征在于，所述水冷单元（2）包括：水冷管（21）和水冷线架（22）；

8.根据权利要求7所述的粒子束控制装置，其特征在于，所述水冷线架（22）的上装配部的上表面开设有第一水冷管凹槽，所述水冷线架（22）的下装配部与所述支撑部的连接处开设有第二水冷管凹槽，所述水冷管（21）中的至少一层布置在所述第一水冷管凹槽内，所述水冷管（21）中的至少一层布置在所述第二水冷管凹槽内。

9.根据权利要求7或8所述的粒子束控制装置，其特征在于，所述磁物镜结构（10）包括：励磁线圈（15），所述物镜磁体（11）包括：第一物镜磁体部件（111）和第二物镜磁体部件（112）；

10.根据权利要求9所述的粒子束控制装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成宇，杨思源，王志斌，张松涛，
申请(专利权)人：北京惠然肯来科技中心有限合伙，
类型：发明
国别省市：