下载向下式基板薄型化装置及采用该装置的薄型化系统的技术资料

文档序号:4263096

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本发明提供一种向下式玻璃薄型化装置以及利用该装置的薄型化系统。该向下式玻璃薄型化装置具有:固定部,将至少一张基板垂直固定;喷嘴部,设置在所述基板的垂直上方,使蚀刻液沿着所述基板表面流下。在此,所述喷嘴部在所述基板的垂直上部侧设置多个,另外,...
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