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本发明涉及一种微机电元件与制作方法，所制作出的微机电元件包含：依任意次序沉积的包含至少一层金属层与一层防护层的薄膜结构；以及连接在该薄膜结构下方的突起部。较佳的薄膜结构为至少包含下方防护层、金属层、上方防护层的三层式薄膜结构。此微机电元件例...
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