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用于在超导量子位基板上产生焊料凸块的方法技术
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文档序号:42629452
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根据本发明,通过电沉积在量子位基板(1)上产生超导焊料凸块(17)。该基板包括量子位区域(4)和连接到量子位区域的超导接触焊盘(5)。首先,在基板上形成保护层(6),并将其图案化以至少覆盖量子位区域。然后,在经图案化的保护层上共形地沉积一个...
该专利属于IMEC非营利协会所有,仅供学习研究参考,未经过IMEC非营利协会授权不得商用。
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