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本发明提供一种晶圆测试装置及其测试方法，此晶圆测试装置包含一晶圆承载平台、一探针卡、多个转换器、一测试载板、一测试台以及一回馈装置，其中晶圆承载平台提供Ｘ－Ｙ－Ｚ三轴的移动以承载一待测晶圆，探针卡包含有多个探针以测试晶圆承载平台的待测晶圆，...
该专利属于京元电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京元电子股份有限公司授权不得商用。

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