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制造电子器件的方法和电子器件技术
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文档序号:42628487
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本公开涉及制造电子器件的方法和电子器件。该电子器件包括衬底。该方法包括:在衬底上形成伪栅,其中伪栅的顶表面上具有第一区域以及不同于该一区域的第二区域,并且其中第一区域含有氮化硅,第二区域含有氧化硅。该方法还包括:对伪栅的第二区域进行氮化而不...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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