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描述了示例性柔性盖板及其制造方法。这些方法可包括将基板层的表面暴露于表面处理等离子体以形成基板层的经处理表面。含硅粘附层可以沉积在基板层的经处理表面上。含硅烷粘附促进剂可结合在含硅粘附层上。该方法亦可包括在含硅粘附层上形成硬涂层，其中该含硅...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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