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本申请公开了一种芯片加液防飞溅装置，涉及芯片生产的技术领域，其中，装置包括：酸碱收集箱、输液管和氮气稳压装置，所述酸碱收集箱的顶部设置有入口，所述酸碱收集箱底部设置有出液口，所述出液口与芯片加液区域位置对应；所述输液管设置于所述酸碱收集箱内...
该专利属于河北光兴半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北光兴半导体技术有限公司授权不得商用。

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