芯片加液防飞溅装置制造方法及图纸

本申请公开了一种芯片加液防飞溅装置，涉及芯片生产的技术领域，其中，装置包括：酸碱收集箱、输液管和氮气稳压装置，所述酸碱收集箱的顶部设置有入口，所述酸碱收集箱底部设置有出液口，所述出液口与芯片加液区域位置对应；所述输液管设置于所述酸碱收集箱内，所述输液管的第一端自所述入口伸出并连接溶液的加液口，所述输液管的第二端的端口设置有弹簧阀；所述氮气稳压装置与所述酸碱收集箱连通。本申请将输液管设置在酸碱收集箱内，并将酸碱收集箱和氮气稳压装置连通，从而保持酸碱收集箱内的压力稳定性，从而使溶液可以从酸碱收集箱的出液口平稳流出至芯片加液区域，避免溶液飞溅，保护工作人员的人身安全和设备的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本说明书涉及芯片生产的，尤其涉及一种芯片加液防飞溅装置。

技术介绍

1、近年来，中国半导体产业取得了显著的进步,中国芯片产业近年来也取得了快速发展，逐渐崛起为国际市场的主导力量。芯片工厂内酸碱化学品系统高达二十多种，每种化学品都有单独的供液装置和供液管道,由于酸碱化学品特殊性，酸碱供液泵99％采用隔膜泵方式进行,隔膜泵经常会出现一股一股地间隔送液，导致管道内酸碱压力不稳，当芯片溶液加液时，溶液容易产生飞溅到外界和芯片工作装置的表面，导致环境污染，造成人身伤害及设备的损害。

2、另外，酸碱液体传输过程中压力不稳定，酸性溶液和碱性溶液的添加溶液和使用溶液过程中会产生酸碱废气，酸碱加液过程中会排放废气，危害工作人员的安全性和设备的稳定性。

3、比如，中国专利cn115837638a公开了一种过滤桶模组、抛光液过滤机、抛光液净化系统及方法。其中，抛光液净化系统还包括用于将净液暂存箱内的抛光液送出的恒压供液泵、用于储存抛光废液的抛光液回液池和用于将抛光液回液池中的抛光废液送入过滤桶的气动隔膜泵。通过上述的抛光液净化系统可以实现抛光液的重复利用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，所述弹簧阀(7)包括弹簧(71)、挡板(72)和卡箍(73)，所述挡板(72)可移动地遮挡在所述输液管(5)第二端的端口，所述弹簧(71)的一端连接所述挡板(72)，所述弹簧(71)的另一端通过卡箍(73)固定在所述输液管(5)上。

3.根据权利要求1所述的一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，所述输液管(5)包括呈螺旋弯曲状的弯管段(52)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，靠近所述输液管(5)第一端的输液管(5)内部...

【技术特征摘要】

1.一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，所述弹簧阀(7)包括弹簧(71)、挡板(72)和卡箍(73)，所述挡板(72)可移动地遮挡在所述输液管(5)第二端的端口，所述弹簧(71)的一端连接所述挡板(72)，所述弹簧(71)的另一端通过卡箍(73)固定在所述输液管(5)上。

3.根据权利要求1所述的一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，所述输液管(5)包括呈螺旋弯曲状的弯管段(52)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，靠近所述输液管(5)第一端的输液管(5)内部设置有用于减缓溶液流速的缓流组件(2)。

5.根据权利要求4所述的一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，所述缓流组件(2)包括螺旋状叶片(21)，所述螺旋状叶片的外边缘紧贴所述输液管(5)内壁，在所述输液管(5)内部形成螺旋状通道。

6.根据权利要求5所述的一种芯片加液防飞溅装置，其特征在于，所述输液管(5)包括靠近所述输液管(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：董召华，朱国发，胡恒广，闫冬成，
申请(专利权)人：河北光兴半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：