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本技术公开了一种可测温真空设备，包括真空镀膜设备，在真空镀膜设备的真空腔室内正对基板的腔室上设置有红外测温传感器，所述红外测温传感器的传感器探头正对方向设置有随基板移动的运动挡板，所述运动挡板设置于真空镀膜设备的真空腔室内。本技术的可测温真...
该专利属于仁烁光能（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过仁烁光能（苏州）有限公司授权不得商用。

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