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本技术公开了用于改善扩散炉内气体均匀性的进气装置，涉及高温扩散领域，包括进气管和用于提升气体流动速率和均匀性的导流通道，进气管的进气口与气源的出气口连通，导流通道的进气口尺寸小于导流通道的出气口尺寸，导流通道的进气口与进气管的出气口连通，导...
该专利属于和光同程光伏科技（宜宾）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和光同程光伏科技（宜宾）有限公司授权不得商用。

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