温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于硅片变更片盒的使用工具及其控制方法，所属硅片加工设备技术领域，包括底座，所述的底座前后两端均设有若干对片盒定位卡槽，后端的片盒定位卡槽中间设有推送组件，所述的底座下端设有驱动推送组件前后位移的传送组件。所述的推送组件包括止...
该专利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中欣晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。