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真空中机械手臂防甩油装置制造方法及图纸
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下载真空中机械手臂防甩油装置的技术资料
文档序号:42621215
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本技术主要揭示一种真空中机械手臂防甩油装置,其主要特征在于一迷宫密封构造的设计,该迷宫密封构造利用流体黏滞系数特性、一般加工能力和组装公差以设计迷宫密封构造宽度,以确保在真空环境中防止机械手臂甩油而污染真空的工作环境。此外,这种装置的设计不...
该专利属于三和技研股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三和技研股份有限公司授权不得商用。
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