温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种图像传感器及其制造方法。所述图像传感器包括衬底、金属互连介质层、相互电绝缘的若干光电转换单元、与所述若干光电转换单元一一对应设置的若干光栅结构和滤光层。所述滤光层包含与所述若干光栅结构一一对应设置并填充所述若干光栅结构以及相...该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种图像传感器及其制造方法。所述图像传感器包括衬底、金属互连介质层、相互电绝缘的若干光电转换单元、与所述若干光电转换单元一一对应设置的若干光栅结构和滤光层。所述滤光层包含与所述若干光栅结构一一对应设置并填充所述若干光栅结构以及相...