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本申请涉及一种分子束外延设备的原位掩膜架及分子束外延设备。该原位掩膜架包括座体、掩膜片、锁紧件及夹持件，座体具有拆装槽，拆装槽与分子束外延设备的抓手外形尺寸相适配，拆装槽的第一槽底设有窗口；掩膜片设置于窗口；锁紧件设置于拆装槽的第一槽侧壁，...
该专利属于北京分量科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京分量科技有限公司授权不得商用。

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