下载碳化硅半导体装置的技术资料

文档序号:42617836

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本发明的单位单元(16)是彼此相邻的源极沟槽(11)的中间的部分,具有2个以上的栅极沟槽(7)以及1个源极沟槽(11),并形成有4个以上的沟道。2个以上的栅极沟槽(7)和1个源极沟槽(11)在与半导体基板(30)的正面平行的方向上交替地重复...
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