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本实用新型公开了一种偏压式等离子源以及包含其的等离子处理机 构，其有关一种偏压式等离子源，其包括：一电极盘、一支撑体、一旋转 连接器、以及一导线。其中，电极盘配置于支撑体上方，旋转连接器配置 于支撑体下方，且导线将旋转连接器以及电极盘电性连...
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