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本发明提供了一种亚波长金属光栅偏振器件结构及其晶圆级制造方法，包括：基底；第一介质层，沉积于基底顶端；第二介质层，沉积于第一介质层顶端；多个介质光栅层，沉积于第二介质层顶端并沿第二介质层的长度方向间隔设置，每相邻的两个介质光栅层之间分别形成...
该专利属于西北工业大学宁波研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学宁波研究院授权不得商用。

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