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本发明公开了一种晶圆的动态参数测试装置及测试方法，其中测试装置包括热沉放置座、动态测试机和三维驱动机构，热沉放置座顶端的安装槽用于供带有多个晶圆的晶圆片嵌装，安装槽与晶圆片的底端面围成安装腔；安装腔内设有加热板；安装腔连通有充氮气组件；安装...
该专利属于佛山市联动科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市联动科技股份有限公司授权不得商用。

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