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本申请公开了一种碳化硅复合基板结构，包括：碳化硅基板、黏附层结构、隔离绝缘层结构和表面电路结构，所述黏附层结构设置于所述碳化硅基板的表面，所述隔离绝缘层结构设置于所述黏附层结构与所述表面电路结构之间；所述黏附层结构包括至少一层结构。本申请在...
该专利属于矽安光电科技（南通）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过矽安光电科技（南通）有限公司授权不得商用。

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