下载复合分离结构的技术资料

文档序号:42615501

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一种复合分离结构,具有:基体部、与该基体部相接配置的第一分离部、不与基体部相接且与第一分离部相接配置的第二分离部,该第二分离部为非晶体并且从与第一分离部相接的端部到相反的端部为止的厚度为5nm~200nm。本发明可提供能够以高分离性分离各种...
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