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复合分离结构制造技术
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文档序号:42615501
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一种复合分离结构,具有:基体部、与该基体部相接配置的第一分离部、不与基体部相接且与第一分离部相接配置的第二分离部,该第二分离部为非晶体并且从与第一分离部相接的端部到相反的端部为止的厚度为5nm~200nm。本发明可提供能够以高分离性分离各种...
该专利属于三菱化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱化学株式会社授权不得商用。
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