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一种晶硅粗磨精磨一体机制造技术
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下载一种晶硅粗磨精磨一体机的技术资料
文档序号:42614582
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本技术涉及晶硅加工设备技术领域,公开了一种晶硅粗磨精磨一体机,包括底座,底座的顶面靠近前后两侧均固定有两个第一导轨,第一导轨的上方滑动设置有活动架,活动架的一侧设置有支撑板,靠近底座右侧的两个支撑板相互靠近的两侧均转动连接有精磨砂轮,靠近底...
该专利属于衢州永旭电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过衢州永旭电子有限公司授权不得商用。
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