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本发明属于设备测距技术领域，具体公开提供的一种激光加工设备的高精度同轴测距方法，该方法通过利用迈克尔逊干涉仪进行同轴测距，有效解决了当前两种测距方式都需要进行较为复杂的光路调整和对准工作，操作较为繁琐的问题，相较于传统的旁轴三角测距具有测量...
该专利属于武汉腾谱光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉腾谱光电科技有限公司授权不得商用。

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