下载降低应力的介电层结构及其制造方法的技术资料

文档序号:4261404

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本发明降低应力的介电层结构及其制造方法,集成电路组件上设有焊垫以及一护层以及第一介电层,该护层覆盖于集成电路组件表面,而第一介电层则覆盖于护层表面,且护层以及第一介电层并暴露该焊垫,而第一介电层上并设有与焊垫藉由凸块下金属层(UBM)及后续...
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