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本发明公开了一种薄膜太阳能电池的制造方法，在薄膜太阳能电池的制造过程中，ＴＣＯ前电极、ＴＣＯ复合层和ＴＣＯ背电极中的至少一层采用ＰＥＣＶＤ工艺形成，根据本发明，用于硅薄膜太阳能电池中的一层或多层ＴＣＯ膜层是在与形成ｐ－ｉ－ｎ氢化硅薄膜的同一...
该专利属于福建钧石能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建钧石能源有限公司授权不得商用。

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