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本技术公开了一种新型光纤传感器，包括装置本体，装置本体包括陶瓷托盘、光纤传感器和晶圆，光纤传感器安装在陶瓷托盘侧面，晶圆放置在陶瓷托盘顶部；光纤传感器包括固定端、前伸端、光纤线缆和防护装置，前伸端和防护装置均安装在固定端前端且防护装置位于前...
该专利属于上海至纯半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯半导体设备有限公司授权不得商用。

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