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本技术属于半导体技术领域，尤其为一种模块化半导体研磨盘，包括磨片连接轴，还包括设置在磨片连接轴一侧的调节组件，所述调节组件包括研磨板、定向条、扩张板、A连接轴、传动轴、B连接轴和套筒，所述磨片连接轴的一端固定安装有所述研磨板，且所述研磨板的...
该专利属于上海格意光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海格意光电材料有限公司授权不得商用。

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