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本发明提供一种热处理设备，包括：腔体，所述腔体内具有一工作区域；边缘环，所述边缘环围绕所述工作区域设置，所述边缘环用于提供磁悬浮力以驱动所述工作区域内的晶圆旋转；位置检测单元，所述位置检测单元用于检测所述晶圆的位置，并在检测到所述晶圆的位置...
该专利属于杭州积海半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州积海半导体有限公司授权不得商用。

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