专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
松山湖材料实验室
>
具有超薄缓冲层结构的复合衬底及其制备方法、紫外发光器件技术
>技术资料下载
下载具有超薄缓冲层结构的复合衬底及其制备方法、紫外发光器件的技术资料
文档序号:42604625
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种具有超薄缓冲层结构的复合衬底及其制备方法、紫外发光器件,属于复合材料领域。复合衬底包括衬底、以及形成于衬底表面的超薄缓冲层结构,超薄缓冲层结构包括:形成于衬底的表面的第一单晶氮化铝薄膜,形成于第一单晶氮化铝薄膜上的Al<subgt...
该专利属于松山湖材料实验室所有,仅供学习研究参考,未经过松山湖材料实验室授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。