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一种具有超薄缓冲层结构的复合衬底及其制备方法、紫外发光器件，属于复合材料领域。复合衬底包括衬底、以及形成于衬底表面的超薄缓冲层结构，超薄缓冲层结构包括：形成于衬底的表面的第一单晶氮化铝薄膜，形成于第一单晶氮化铝薄膜上的Al<subgt...
该专利属于松山湖材料实验室所有，仅供学习研究参考，未经过松山湖材料实验室授权不得商用。

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