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本申请公开了一种基于扫描电镜图像量测目标区域的方法、设备和存储介质。所述方法包括:获取扫描电镜图像并在所述扫描电镜图像上确定待量测的目标区域,其中所述目标区域包括左侧区域和右侧区域;基于所述目标区域内的扫描电镜图像确定所述目标区域内的灰度曲...该专利属于惠然微电子技术(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠然微电子技术(无锡)有限公司授权不得商用。
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