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本发明是一种二氧化钛薄膜的制备方法，包括：首先，提供一真空腔体，此真空腔体中具有二氧化钛靶材与晶座，其中晶座上放置有塑料基材。接着，填充１～１０Ｐａ的等离子体气体到真空腔体，此等离子体气体是由氩气与氧气所组成。前述氩气与氧气的流量比为９∶１...
该专利属于财团法人纺织产业综合研究所所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人纺织产业综合研究所授权不得商用。

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