下载一种固晶机的可调式轨道结构的技术资料

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本技术涉及芯片加工技术领域,且公开了一种固晶机的可调式轨道结构,包括主体机构、调节机构和安装机构,所述调节机构位于主体机构的上方,所述安装机构位于主体机构的下方,所述主体机构包括减震底板、安装底板、阻尼缸套、活塞、复位弹簧,所述安装底板活动...
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