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本发明提供一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，可根据不同的参数条件设计体积小、成本低的微波等离子体产生装置，其紧凑型的可调式结构不仅可以通过调谐端塞实现谐振频率匹配，提高能量注入效率；还可利用激励插头改变电场分布实现自激放电；此外...
该专利属于中国科学院电工研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。

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