一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，可根据不同的参数条件设计体积小、成本低的微波等离子体产生装置，其紧凑型的可调式结构不仅可以通过调谐端塞实现谐振频率匹配，提高能量注入效率；还可利用激励插头改变电场分布实现自激放电；此外双进气口设计和整体气密性的考虑满足了在不同进气方式和气压环境下形成微波等离子体，助力等离子体能源转化技术。本发明专利技术能够定量化地指导同轴结构参数设计，并且添加多种可调结构灵活适应不同运行条件，实现自激放电，并满足整体气密性要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于等离子体产生领域，具体涉及一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法。

技术介绍

1、目前常用于等离子体能源转化的微波等离子体产生装置主要包括微波源、波导、谐振腔、调谐器、反应器等，其中的关键是波导与谐振腔，前者一般为两侧开口的中空结构，主要用于按照特定模式和波形耦合微波源并传输微波能量，常见的波导截面为矩形（ieeetransactions on antennas and propagation, 2005, 53, 2872-2881, doi: 10.1109/tap.2005.854523）或圆形（ieee transactions on microwave theory and techniques,2000, 48, 2446-2452, doi: 10.1109/22.898996）；后者则一般为密封或单侧开口的腔体，负责提供微波谐振回路，使电磁场发生振荡并在特定位置引发放电等离子体。二者的尺寸参数设计与微波频率（300 mhz到300 ghz）密切关联，且材质要求为铜、铝等高导电性金属材料，某些波导和谐振腔内壁还会镀金（jo本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，其特征在于，所述步骤1包括：

3.根据权利要求1所述的一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，其特征在于，所述步骤2包括：

4.根据权利要求1所述的一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，其特征在于，所述步骤3包括：

5.根据权利要求1所述的一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，其特征在于，所述步骤4包括：使得底部轴向进气口通过外电极底部与内电极连通；径向进气口在微波馈入口中...

【技术特征摘要】

1.一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，其特征在于，所述步骤1包括：

3.根据权利要求1所述的一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计方法，其特征在于，所述步骤2包括：

4.根据权利要求1所述的一种可调式同轴微波等离子体产生装置的设计...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵涛，徐宇轩，高远，窦立广，张传升，
申请(专利权)人：中国科学院电工研究所，
类型：发明
国别省市：