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本发明设计公开了一种超纯气体快速分析检测装置，包括采样端、采样点、样品输送管、分析室，所述若干单元采样输出端均分别连接有单元样品输送管，单元样品输送管末端对应连接在分析室中连锁防错机构前端的单元样品输入端上，连锁防错机构中部设置有换气装置，...
该专利属于云南祥丰同辉新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南祥丰同辉新材料科技有限公司授权不得商用。

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