【技术实现步骤摘要】
本专利技术专利属于超纯气体的分析检测设备，具体涉及一种超纯气体快速分析检测装置。
技术介绍
1、如图1所示，现有超纯气体是在采样室采用若干采样点端多路汇入一根样品输送总管，输送至分析室的若干分析仪中进行分析，由于采样端及样品输送管线过长，上次采样对下次样品分析影响大，分析管线置换时间长，影响分析速率及分析准确性，加上分析端无连锁防错机制，容易造成误操作导致样气交叉污染， 大大降低了超纯气体灌装及生产效率，对分析员的分析造成了极大的干扰。
2、因此，本文提出一种超纯气体快速分析检测装置。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术通过以下技术方案实现的：一种超纯气体快速分析检测装置，包括采样端、采样点、样品输送管、分析室，采样端中设置有若干单元采样点，单元采样点通过样品输送管与分析室连接，所述若干单元采样输出端均分别连接有单元样品输送管，单元样品输送管末端对应连接在分析室中连锁防错机构前端的单元样品输入端上，连锁防错机构中部设置有换气装置，连锁防错机构的后端设置有样品输出端，样品输出端通过样品输送总管分别连接在与采样点对应的若干单元分析输入端上。
2、作为优选，所述的单元采样输出端上从前到后依次安装有隔膜阀a、减压阀a、压力表a。
3、作为优选，所述的单元样品输入端上从前到后依次安装有隔膜阀b、压力表b、单向阀a、气动隔膜阀、隔膜阀c。
4、作为优选，所述的换气装置还包括排气管、放空结构、抽真空结构，排气管的前端连接在连锁防错机
5、作为优选，所述的放空结构上从前到后依次安装有隔膜阀d、单向阀b。
6、作为优选，所述的抽真空结构上从前到后依次安装有隔膜阀e、单向阀c。
7、作为优选，所述的样品输出端上从前到后依次安装有过滤器、减压阀c、压力表c；该结构可对样品气体进行二级降压。
8、作为优选，所述的单元分析输入端上从前到后依次安装有隔膜阀f、减压阀d、压力表d。
9、本专利技术的有益效果是：
10、该装置可避免了如现有技术中的样品气切换时因公用输送管道过长，出现置换困难的情况；分析室中各样品气体汇合后，每次只允许一路样品气体进入样品输出端，从而排入相应的单元分析仪，杜绝了人为失误导致的交叉污染现象；其中，连锁防错机构中部设置有分析室样气公用的管道换气装置，提高了管道置换效率；且该装置中的样品气体经三级降压进入分析仪，样品气体压力稳定，对分析干扰更小。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种超纯气体快速分析检测装置，包括采样端、采样点、样品输送管、分析室，采样端中设置有若干单元采样点（1），单元采样点（1）通过样品输送管与分析室连接，其特征在于：所述若干单元采样输出端（2）均分别连接有单元样品输送管（3），单元样品输送管（3）末端对应连接在分析室中连锁防错机构前端的单元样品输入端（4）上，连锁防错机构中部设置有换气装置，连锁防错机构的后端设置有样品输出端（5），样品输出端（5）通过样品输送总管（6）分别连接在与采样点对应的若干单元分析输入端（7）上。
2.根据权利要求1所述的一种超纯气体快速分析检测装置，其特征在于：所述的单元采样输出端（2）上从前到后依次安装有隔膜阀A（9）、减压阀A（10）、压力表A（11）。
3.根据权利要求1所述的一种超纯气体快速分析检测装置，其特征在于：所述的单元样品输入端（4）上从前到后依次安装有隔膜阀B（12）、压力表B（13）、单向阀A（14）、气动隔膜阀（15）、隔膜阀C（16）。
4.根据权利要求1所述的一种超纯气体快速分析检测装置，其特征在于：所述的换气装置还包括排气管（17）、放空结
5.根据权利要求4所述的一种超纯气体快速分析检测装置，其特征在于：所述的放空结构上从前到后依次安装有隔膜阀D（18）、单向阀B（19）。
6.根据权利要求4所述的一种超纯气体快速分析检测装置，其特征在于：所述的抽真空结构上从前到后依次安装有隔膜阀E（20）、单向阀C（21）。
7.根据权利要求1所述的一种超纯气体快速分析检测装置，其特征在于：所述的样品输出端（5）上从前到后依次安装有过滤器（22）、减压阀C（23）、压力表C（24）；该结构可对样品气体进行二级降压。
8.根据权利要求1所述的一种超纯气体快速分析检测装置，其特征在于：所述的单元分析输入端（7）上从前到后依次安装有隔膜阀F（25）、减压阀D（26）、压力表D（27）。
...【技术特征摘要】
1.一种超纯气体快速分析检测装置，包括采样端、采样点、样品输送管、分析室，采样端中设置有若干单元采样点（1），单元采样点（1）通过样品输送管与分析室连接，其特征在于：所述若干单元采样输出端（2）均分别连接有单元样品输送管（3），单元样品输送管（3）末端对应连接在分析室中连锁防错机构前端的单元样品输入端（4）上，连锁防错机构中部设置有换气装置，连锁防错机构的后端设置有样品输出端（5），样品输出端（5）通过样品输送总管（6）分别连接在与采样点对应的若干单元分析输入端（7）上。
2.根据权利要求1所述的一种超纯气体快速分析检测装置，其特征在于：所述的单元采样输出端（2）上从前到后依次安装有隔膜阀a（9）、减压阀a（10）、压力表a（11）。
3.根据权利要求1所述的一种超纯气体快速分析检测装置，其特征在于：所述的单元样品输入端（4）上从前到后依次安装有隔膜阀b（12）、压力表b（13）、单向阀a（14）、气动隔膜阀（15）、隔膜阀c（16）。
4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄加斗，匡勇，李林胜，刘德文，
申请(专利权)人：云南祥丰同辉新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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