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本技术提供了一种晶圆运载机械臂的训练治具，属于晶圆器械维护领域，具体包括圆形基座，下表面设置与晶圆装载平台的细金属柱配合的孔洞；圆形调整平台，通过螺纹固定在所述圆形基座上，周边开设有与所述晶圆运载机械臂配合的至少一个凹槽，所述凹槽的内表面设...
该专利属于上海威缶电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海威缶电子科技有限公司授权不得商用。

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