【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆器械维护领域，具体涉及一种晶圆运载机械臂的训练治具。
技术介绍
1、现有的晶圆装载平台没有供晶圆运载机械臂进入的凹槽。当设备主机发出指令后晶圆装载平台移动到指定位置，之后平台自行下降，露出平台中间的三根细金属柱。之后机械臂运载晶圆抵达装载平台上方，缓速下降，将晶圆放置到三根细金属柱上，机械臂停泊在晶圆及装载平台之间，从这个高度位置抽出，继续进行下一个动作。随后晶圆装载平台缓速上升，贴合并通过真空吸附住晶圆。
2、为了保证晶圆被机械臂安全运输，机械臂每次移动的位置需要满足一定的精确度，比如最为严格的位置高度，常常需要将偏差值降低在1到2毫米之间。可这些对应的位置数据很难通过具体测量手段来进行标定，往往采取个人经验及目视调整，因而需要较长时间进行校准，且精准度较难达到要求。
技术实现思路
1、因此，为了克服上述现有技术的缺点，本技术提供一种晶圆运载机械臂的训练治具。
2、为了实现上述目的，本技术提供一种晶圆运载机械臂的训练治具，包括：圆形基座，下表面设置与晶圆装载平台的细金属柱配合的孔洞；圆形调整平台，通过螺纹固定在所述圆形基座上，周边开设有与所述晶圆运载机械臂配合的至少一个凹槽，所述凹槽的内表面设置有保护涂层。
3、在其中一个实施例中，所述圆形调整平台为铝平台或者铝合金平台。
4、在其中一个实施例中，所述保护涂层的厚度为0.5～1.5mm。
5、与现有技术相比，本技术的优点在于：可直接放置在晶圆装载平台上，通过
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆运载机械臂的训练治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的训练治具，其特征在于，所述圆形调整平台为铝平台或者铝合金平台。
3.根据权利要求1所述的训练治具，其特征在于，所述保护涂层的厚度为0.5～1.5mm。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆运载机械臂的训练治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的训练治具，其特征在于，所述圆形调整平...
【专利技术属性】
技术研发人员：许思凯，
申请(专利权)人：上海威缶电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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