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本发明涉及一种基于微环谐振腔的温度传感器，用于连接可调谐激光光源以及探测器，包括：输入光栅耦合器，可调谐激光光源连接输入光栅耦合器，输入光栅耦合器通过输入锥形波导连接有微环谐振腔，微环谐振腔通过输出锥形波导连接输出光栅耦合器；所述输出光栅耦...
该专利属于苏州微光电子融合技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微光电子融合技术研究院有限公司授权不得商用。

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